品牌:日本新宇宙COSMOS
半导体特气检漏仪XP-703D
¬ 最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
¬ 采用声光报警。
型 号
检测对象气体
半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm)
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
美国HOLADAY
日本新宇宙COSMOS
台湾路昌LUTRON
超声波泄漏检测仪关键词:超声波
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